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真空系统的定义及组成部件

浏览数:1673  文章来源: www.hkfuten.com
真空系统是由真空容器和获得真空、测量真空、控制真空等组件组成。

一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、其他真空元件及电气控制系统构成。经过精心组装而成的。

自控系统的分类

按工作压力:
1、粗真空系统(工作压力大于1330Pa);
2、低真空系统(工作压力在1330~0.13Pa);
3、高真空系统(工作压力在0.13~1.3×10-6Pa);
4、超高真空系统(工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa);5、极高真空系统(工作压力低于1.3×10-10Pa)。
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按真空系统所要求的清洁程度分:
1、有油真空系统(真空室有油蒸汽污染)

2、无油真空系统(真空室无油蒸汽污染)



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